| 摘要 |
本发明系可将超纯水中之杂质，于狭小空间内连续长期安定且高度地进行去除之超纯水的高纯度化方法及其装置。使导入超纯水的高纯度化装置10之超纯水，通过下腔室1a内之离子交换树脂层5。此时，于超纯水中之金属离子等，可藉由离子交换树脂而去除。其后，使纯水通过多孔盘4而流入上腔室1b内，再透过离子交换过滤器6。此时，可去除藉由离子交换树脂层5未完全去除之金属离子。如此因藉由离子交换树脂而除去相当程度之金属离子，使位于其下游侧之离子交换过滤器可仅需去除极少量之金属离子，其结果，可防止离子交换过滤器于短时间内即贯穿破损，而可进行连续长期之超纯水的高纯度化。 |
