将所期望之Ｍ个电浆参数值转译为Ｎ个腔室参数值之电浆反应器控制方法

摘要

本发明涉及一种藉由根据复数电浆参数的预期值来控制复数腔室参数，进而在电浆反应器腔室中处理晶圆的方法。该方法包括将Ｍ个电浆参数的一组Ｍ个预期值同时转换为各个Ｎ个腔室参数的一组Ｎ个值。该等Ｍ个电浆参数选自包括晶圆电压、离子密度、蚀刻速率、晶圆电流、蚀刻选择性、离子能量和离子质量的一组参数。该等Ｎ个腔室参数选自包括源功率、偏压功率、腔室压力、内磁铁线圈电流、外磁铁线圈电流、内区气体流速、外区气体流速、内区气体组成、外区气体组成的一组参数。该方法进一步包括将Ｎ个腔室参数设定为一组Ｎ个值。