基板处理装置及基板搬送方法，以及电脑程式

摘要

本发明的课题是在于提供一种可藉由搬送装置来以高精度将基板搬送至处理室内的所定位置之基板处理装置及基板搬送方法。基板处理装置系具备：处理室，其系收容基板载置台，对该基板载置台上的基板实施所定的处理；温度感测器，其系检测出处理室的温度；搬送装置，其系进行对处理室内的上述基板载置台之基板的受取或交接；又，搬送装置系具有控制基板的搬送之搬送控制部，搬送控制部系以所定时序按照对应于藉由温度感测器所检测出的温度之处理室的变位来补正搬送装置本体的处理室内的基准位置，以所被补正的基准位置作为基准来控制上述搬送装置本体的基板的搬送。