缺陷检查装置及缺陷检查方法

摘要

摄影部(3)对被检查对象物进行摄影，产生摄影资讯。影像取得部(4)根据摄影资讯，产生被检查对象物之影像。缺陷撷取部(5)使用所产生之影像，撷取被检查对象物上之缺陷。缺陷检查部(6)对所撷取之缺陷进行检查，产生每一检查条件之检查结果。基板检查结果产生部(10)根据有关缺陷之资讯，对每一检查条件之检查结果加权后，再将每一检查条件之检查结果统合。藉此，可提供一种容易进行基板的良劣判定，且可提升制程整体之产量之缺陷检查装置及缺陷检查方法。