基板之升降搬运装置

摘要

本发明系提供一种升降搬运装置，其系于搬运时，能够不损伤基板并维持载置稳定性，实现高速搬运，同时兼具优异之生产效率者。本发明系提供一种升降搬运装置，其系升降搬运基板，其包含：主体框架；托板部，其系于主体框架内安装为可上下自由移动，载置基板者；升降机构，其系使托板部于主体框架内升降者；以及气流调节机构，其系设置于托板部下部及／或上部，调节托板部升降中之气流者。