添加钳合剂之药液的纯化方法

摘要

自半导体制造步骤所使用之含有具有钳合形成能之药液，除去钳合配位化合物，并且减轻洗净负荷。半导体制造步骤所使用之含有具有钳合形成能之化合物之药液的纯化方法中，以有机配位化合物吸附体处理硷性药液，除去因上述药液中所含的镍或铜等之不纯金属所形成之钳合配位化合物。