发明名称 腔室用门开启装置
摘要 本发明涉及一种腔室用门开启装置,更详细地,所述腔室用门开启用于更为容易地执行门的开闭作用,并且开放时使一对门相互重叠,从而使其在开放状态下最小化门所占据的空间的腔室用门开启装置。本发明的腔室用门开启装置包括;为了关上腔室的开口部而并排配置的第一门和第二门;向腔室的侧方移动第一门,再移动所述第二门使之与第一门相重叠,以开闭腔室开口部的水平移动装置。
申请公布号 TW200833910 申请公布日期 2008.08.16
申请号 TW097103370 申请日期 2008.01.29
申请人 席尔科技股份有限公司 发明人 李柄大;孙中锡
分类号 E04B1/62(2006.01);H01L21/00(2006.01) 主分类号 E04B1/62(2006.01)
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 韩国