树脂膜形成方法及树脂膜形成装置

摘要

本发明之课题：形成膜厚均匀，平滑性优异的树脂膜，能获得不产生弯曲之平坦性优异的基板。另外，使得在对于树脂膜之光的照射与非照射的境界之树脂膜的硬化与非硬化变得明确。本发明之解决手段：一种藉由旋转使被供给至基板上的液状物质展延的过程，或于展延后，使光的照射从前述基板的侧朝外周侧移动，来使前述液状物质硬化的树脂膜形成方法，其特征为：前述光为环状，藉由此环状光伴随其照射时间的经过，内径及外径与前述旋转的中心轴线为同心状地变大，于前述基板上从内周侧朝外周侧移动。