避免形成抑制电浆之物质的方法和设备

摘要

兹提供一种用以避免在一电浆室中形成抑制电浆之物质的系统及方法。在一具体实施例里，一含有一阻障元件之设备，该元件系经组态设定以放置在一电浆室内。该阻障元件含有一壁，此者定义一电浆形成范围，而在此可自一流体形成一化学还原物种。该壁之一部分系由一实质钝性于该化学还原物种的物质所形成。该壁可避免该化学还原物种与该电浆室的一内部表面进行交互反应而形成一导体物质。该阻障元件亦含有一开口，此者与该电浆形成范围为流体传通。该流体系透过该开口而引入至该电浆形成范围内。