发明名称 |
微影装置与方法 |
摘要 |
本发明在一实施例中揭示一种环密封件形成装置,该装置包括:一基板固持器,其经配置以固持一至少部分涂覆有抗蚀剂之基板;及一加热元件,其经组态以加热该抗蚀剂之一区域,该基板固持器与该加热元件之间的相对移动系可能的,该移动经配置以使得在该装置之使用中,由该加热元件加热之抗蚀剂区域为环形的。 |
申请公布号 |
TW200834243 |
申请公布日期 |
2008.08.16 |
申请号 |
TW096142725 |
申请日期 |
2007.11.12 |
申请人 |
ASML荷兰公司 |
发明人 |
凯斯 法兰克 贝斯特;奎辰坤;大卫 克里斯多夫 欧克威尔;彼德 谭 伯格 |
分类号 |
G03F7/039(2006.01);G03F7/16(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/039(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
荷兰 |