| 摘要 |
于应力测定装置1中，将透过物镜457而照射于基板9之光的反射光利用遮光图案摄像部43而受光，藉此，取得配置于光学系统45的孔径光阑部453之遮光图案453a之像。于控制部5，根据来自遮光图案摄像部43之输出，求出复数的倾斜向量测定区域中之基板9的倾斜向量以及基板9之表面形状，根据利用表面形状而求出之曲率半径、膜厚以及基板9之厚度，求出膜内应力。于应力测定装置1中，由于来自物镜457光系于基板9上大致成为平行光，因此可于基板9上之各倾斜向量测定区域中，不调整焦点地进行测定，可容易且迅速地求出基板9之表面形状。其结果，可容易且迅速地求出基板9上之膜内应力。 |
