电浆处理装置

摘要

本发明提供一种电浆处理装置，其特征在于，包括流入工序气体的气体流入部、和将流入的工序气体利用一对电极板进行放电而对基板进行电浆处理的电浆源，所述一对电极板是组装了多个单位电极单元的一对单元型电极板。