| 摘要 |
本发明提供了一种用来促进跨越复数个工具的电浆处理工具组件管理的电脑实施方法。该方法包含下列步骤：在与第一工具相关联的第一资料库上接收第一复数个组件的其中包括识别及使用历史之第一组件资料。该方法亦包含下列步骤：在与不同于该第一工具之第二工具相关联的第二资料库上接收第二复数个组件之第二组件资料。该方法进一步包含：使该第一及第二组件资料与第三资料库同步化。该同步化步骤包含：在该第三资料库与该第一及该第二资料库中之至少一资料库之间，使控制该第一及第二复数个组件中之至少一组件的使用之规则同步化。该第三资料库被耦合成与复数个工具交换资料。该方法亦包含：在执行更换、分析、及维修中之一者之前，先使用规则及使用历史资料而取得与特定组件有关之资讯。 |
