| 摘要 |
〔发明课题〕朝上下方向微调整由步进马达及凸轮机构形成的致动器就能够简单并且容易进行阀的零位调整。〔解决手段〕针对构成在具有流入通道2a、流出通道2b、阀室2c及阀座2d的阀体2内配设有昇降自如的杆7，由配设在该杆上方位置的步进马达9及可将步进马达9的旋转运动转换成直线运动传达至该杆7的凸轮机构10所构成的致动器降下上述杆7，使配设在阀室2c内的隔膜3或设置杆7下端部的阀盘30即席于阀座2d之步进马达驱动型凸轮式阀1，于上述阀体2的阀室2c覆盖用的阀帽5设有可将致动器支撑成昇降自如的昇降支撑机构11，于该昇降支撑机构11设有可微调整相对于杆7之致动器高度位置的高度微调整机构12。 |
