真空吸着装置

摘要

提供可于短时间检测基板是否确实地被真空吸着之真空吸着装置。若有部份未被真空吸着，于该部位，使基板W从基板载置台5之上面浮起若干。其次，基板W浮起时，形成于该部位或接近该部位之真空检测孔8所检测之压力也会昇高，用以从外部导入空气。因此，配设之复数压力感测器11全部感测到真空之时点，判断成基板W已确实地被吸着于基板载置台5之上面。