于有机发光二极体基板上沈积有机材料

摘要

本发明提供一种于一OLED基板上沈积有机材料之方法，其包含：提供一用于收纳汽化有机材料之歧管，该歧管包括一具有开口之孔径板，该等孔径板开口系经选择以提供被指向该基板之汽化有机材料射束，此等射束具有离轴分量；及提供一被间隔放置于该OLED基板与该歧管之间的遮罩，该遮罩具有分别对应于该等孔径板开口之开口，该等遮罩开口系经选择以撇去至少一部分该等射束之该等离轴分量。