液体浸入曝光方法及液体浸入曝光装置

摘要

在液体浸入曝光方法及液体浸入曝光设备中，依据由于平台之移动而使浸入液体接触之表面上的排水性分布，计算该平台之移动时间成为最短之路径，使得该平台沿该路径而移动。