溅镀式镀膜装置及方法

摘要

本发明涉及一种溅镀式镀膜装置，其包括本体，转盘，复数个承载件，驱动装置，第一靶电极及第二靶电极。该转盘置于本体内，该复数个承载件设置于转盘上用于承载待镀工件。该驱动装置用于驱动该承载件转动一定角度。第一靶电极和第二靶电极相对设置在本体上交替的在待镀工件的某一待镀表面进行镀膜。本发明还涉及一种使用上述溅镀式镀膜装置进行镀膜的方法。所述溅镀式镀膜装置和方法可在一次制程中完成对待镀工件进行双面镀膜，进而可大大降低生产成本及提升生产效率。