于板状基底上电化学沈积物质的装置

摘要

本发明提供一种于具有周围边缘的板状基底的至少一侧上电化学沈积物质的装置，该装置包含具有电解液于其中的电解池，此电解池具有用于馈送电解液至电解池之至少一入口及用于自电解池排出电解液之至少一出口；用于在电解池中定位基底之基底座，使基底连接为阴极；于电解液中相对于基底地配置之阳极；以及在阳极与基底间之筛选件，用于在基底的周围边缘为基底局部地作筛选。此筛选件为管状形状，同时至少一流动通道设置在管状筛选件的壁之中，通道可作为电解液的入口或出口。