| 摘要 |
本发明提供一种投影光学装置，当使用多个投影光学系统来使光罩图案的放大像形成于物体上时，使各投影光学系统所形成的投影像准确地接合，而良好地进行图案转印。该投影光学装置包括第1投影光学系统PL1及第2投影光学系统PL2，其中该第1投影光学系统PL1是将光罩MA上的点a发出的光束引导至板PT上的点A，且将光罩MA的放大像形成于板PT上，该第2投影光学系统PL2是将光罩MA上的点b发出的光束引导至板PT上的点B，且将光罩MA的放大像形成于板PT上，并且，当自非扫描方向观察时，点a在板PT上的正交投影点a'与点A连接而成的第1线段、和点b在板PT上的正交投影点b'与点B连接而成的第2线段重叠。 |
