电浆辅助化学气相沉积装置

摘要

本发明系关于一种电浆辅助化学气相沉积装置。该电浆辅助化学气相沉积装置包括一射频电路、一第一电极板及一第二电极板，其与该第一电极板相对设置。该第一电极板包括至少二子电极板。该射频电路包括一射频功率源及至少二调变电阻，该射频功率源之一端与该第二电极板连接，该射频功率源之另一端分别经由该调变电阻连接至该至少二子电极板。