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发明名称
晶圆凸块结构及制造方法
摘要
一种晶圆凸块结构,包括复数个焊垫、一被动元件、及复数导电凸块位于一晶圆上。制造方法如下:先提供一晶圆,其具有复数个焊垫,其中包括第一焊垫及第二焊垫;再形成一金属层于该等焊垫之上;接着形成一电阻材料于第一焊垫与第二焊垫之间以作为该被动元件,并且分别连接第一焊垫及第二焊垫上之金属层,藉此电性连接第一焊垫及第二焊垫;以及分别形成复数导电凸块于金属层之上。
申请公布号
TW200834843
申请公布日期
2008.08.16
申请号
TW096104938
申请日期
2007.02.09
申请人
日月光半导体制造股份有限公司
发明人
苏政学;谢爵安
分类号
H01L23/488(2006.01);H01L21/60(2006.01)
主分类号
H01L23/488(2006.01)
代理机构
代理人
李长铭
主权项
地址
高雄市楠梓加工出口区经三路26号
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