具有加强物的凸块结构及其制造方法

摘要

一种具有加强物的凸块结构的制造方法。提供一基板，而基板具有多个接垫与一保护层，其中保护层具有多个开口，且各开口分别暴露出相对应之接垫之一部分。在基板上形成一球底金属材料层，以覆盖保护层与保护层所暴露出之接垫。在球底金属材料层上形成多个凸块，其中各凸块的底面积小于开口的底面积。在各凸块周围之球底金属材料层上形成一加强物，其中各加强物分别与凸块接触，且加强物的材质为一聚合物。图案化球底金属材料层，以形成多个球底金属层，其中各球底金属层的底面积大于开口的底面积。因此，此种凸块具有平坦的顶面。