图案之形成方法

摘要

本发明揭示一种形成图案的方法，其能够改善一软模、与包含图案形成材料的一基板之间的界面性质，该方法包括：将涂布具有一图案形成材料的一基板载入一室中；设置一软模，其表面上设有浮凸和凹陷的图案，而与室内的基板相对；藉由蒸发图案形成材料的一些成分、且吸收从图案形成材料至软膜表面之蒸发的成分而形成一吸收层；藉由将包括吸收层的软模与所剩余图案形成材料接触而形成一图案层，其具有转化成包含于软膜表面中浮凸和凹陷图案之形状；以及将软模从图案层分离。