发明名称 |
VERFAHREN ZUR DOTIERUNG MIT HILFE VON DIFFUSION, OBERFLÄCHENOXIDATION UND RÜCKÄTZUNG SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SOLARZELLEN |
摘要 |
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申请公布号 |
AT404991(T) |
申请公布日期 |
2008.08.15 |
申请号 |
AT20060112217T |
申请日期 |
2006.04.04 |
申请人 |
SOLARWORLD INDUSTRIES DEUTSCHLAND GMBH |
发明人 |
TOELLE, RAINER |
分类号 |
H01L21/223;H01L21/225;H01L27/142;H01L31/04;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L21/223 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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