发明名称 VERFAHREN ZUR DOTIERUNG MIT HILFE VON DIFFUSION, OBERFLÄCHENOXIDATION UND RÜCKÄTZUNG SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SOLARZELLEN
摘要
申请公布号 AT404991(T) 申请公布日期 2008.08.15
申请号 AT20060112217T 申请日期 2006.04.04
申请人 SOLARWORLD INDUSTRIES DEUTSCHLAND GMBH 发明人 TOELLE, RAINER
分类号 H01L21/223;H01L21/225;H01L27/142;H01L31/04;H01L31/18 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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