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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM GERICHTETEN TRANSPORT VON CHIPS AUF EINE ZIELPOSITION
摘要
申请公布号
AT504776(A2)
申请公布日期
2008.08.15
申请号
AT20080000115
申请日期
2008.01.25
申请人
GESIM GESELLSCHAFT FUER SILIZIUM-MIKROSYSTEME MBH
发明人
WEGENER THOMAS;BUERGER MARIO
分类号
H01L21/58
主分类号
H01L21/58
代理机构
代理人
主权项
地址
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