发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR DETEKTION VON PARTIKELN AUF HALBLEITERN
摘要
申请公布号 AT403144(T) 申请公布日期 2008.08.15
申请号 AT20040726541T 申请日期 2004.04.08
申请人 AOTI OPERATING COMPANY, INC. 发明人 HIGGS, VICTOR
分类号 G01N21/64;G01N21/95 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
主权项
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