发明名称 Mikrosonden-Chip zum Wahrnehmen von evaneszenten Wellen und Verfahren zu dessen Herstellung, Sonde mit diesem Mikrosonden-Chip und deren Herstellungsverfahren sowie evaneszente Wellensonde, optisches Nahfeld-Abtastmikroskop und Informationsregenerator mit dem Mikrosonden-Chip
摘要
申请公布号 DE69839658(D1) 申请公布日期 2008.08.14
申请号 DE1998639658 申请日期 1998.01.12
申请人 CANON K.K. 发明人 YAGI, TAKAYUKI
分类号 G01B11/30;G02B21/00;B81B3/00;G01B7/34;G01N37/00;G01Q60/22;G01Q70/10;G01Q80/00;G11B7/135 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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