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Die Erfindung betrifft eine elektrische Prüfvorrichtung (1) zur Prüfung von elektrischen Prüflingen (2), vorzugsweise Wafern (3), mit einer elektrischen Anschlussvorrichtung (7), die Kontaktflächen (12) für eine Berührungskontaktierung einer mit dem Prüfling (2) kontaktierbaren Kontaktanordnung (5) aufweist und der eine Abstützeinrichtung (8) zugeordnet ist. Die Erfindung ist gekennzeichnet durch eine nur radiales Temperaturausgleichsspiel durch Führungen (22) zulassende Mittenzentriereinrichtung (20) zur zentralen Ausrichtung von Abstützeinrichtung (8) und Anschlussvorrichtung (7) zueinander.
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