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发明名称 Method for Manufacturing Diamond-Like Carbon Film
摘要
申请公布号 KR100852329(B1) 申请公布日期 2008.08.14
申请号 KR20060077627 申请日期 2006.08.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;H01L21/20 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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