| 发明名称 |
LASER-ASSISTED ETCHING USING GAS COMPOSITIONS COMPRISING UNSATURATED FLUOROCARBONS |
| 摘要 |
<p>Disclosed herein are laser cutting/etching assist fluids and methods of use thereof. The compounds include unsaturated fluorocarbons appropriate for use in laser assist applications.</p> |
| 申请公布号 |
WO2008097638(A1) |
申请公布日期 |
2008.08.14 |
| 申请号 |
WO2008US01690 |
申请日期 |
2008.02.08 |
| 申请人 |
E. I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY;MOCELLA, MICHAEL, T. |
发明人 |
MOCELLA, MICHAEL, T. |
| 分类号 |
C07C21/18;B23K26/12;C07C23/06;C07C23/08;C07C23/10 |
主分类号 |
C07C21/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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