介质阻挡分区放电通道系统

摘要

本发明公开一种介质阻挡分区放电通道系统，包括一个控制壳体，高频电源，供气源，放电主体等，其在一个控制壳体内部设有高频高压电源和气体管路，在壳体的正面设有控制开关，在控制壳体的上面设有上下两块平行的、带有水冷电极的、经过钢化的玻璃板，在上下玻璃板之间设有两个相同的绝缘板，该两个绝缘板与上下两块玻璃板围成一个长方体的通道，在上玻璃板的中部位置开有进气孔，在进气孔两侧的上表面贴覆两个对称电极，称为上电极，在下玻璃板的下表面贴覆一个与地连接的电极，称为地电极，在通道中的气体被电离形成等离子体，进而可以用来对穿过该通道的材料进行表面处理。

主权项

1. 一种介质阻挡分区放电通道系统，包括一个控制壳体，高频电源系统，供气源，等离子体放电主体，其特征在于：在一个控制壳体内部设有高频高压电源和气体流量计，在壳体的正面为系统控制板面，在壳体的上面设有上下平行的、带有水冷电极的、经过钢化的玻璃板，在上下玻璃板之间设有两个相同的绝缘板，该两个绝缘板与上下两块玻璃板围成一个长方体的通道，在上玻璃极板的中间位置设有进气孔，在进气孔两侧的上表面贴覆两个对称电极，称为上电极，在下玻璃板的下表面贴覆一个与地连接的电极，称为地电极。