发明名称 防止击穿的功率半导体装置及其制造方法
摘要 本发明提供一种用于防止信道区域的击穿的功率半导体,为了这个目的,本发明提出了一种防止击穿的功率半导体装置,其拥有一传导型态1的高浓度漏极区域;一传导型态1的主要外延区域,在该基板区域的顶部上加以形成为低浓度;一传导型态1的次要外延区域,在该主要外延区域的顶部上加以形成为中浓度、并具有实际上跨越厚度的均匀掺杂变化曲线;多个传导型态2的体区域,其形成在该次要外延区域的范围之中;以及两个传导型态1的源极区域,其成形在每一体区域的两个边缘内侧而形成为高浓度源极区域。
申请公布号 CN100411192C 申请公布日期 2008.08.13
申请号 CN200510096575.9 申请日期 2005.08.25
申请人 敦南科技股份有限公司 发明人 金钟旼
分类号 H01L29/78(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L29/78(2006.01)
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 郑小军;郑特强
主权项 1. 一种防止击穿的功率半导体装置,包括:一反击穿功率半导体器件,包括:一传导型态1的高浓度漏极区域;一传导型态1的主要外延区域,其在该漏极区域的顶部上形成为低浓度;一传导型态1的次要外延区域,其在该主要外延区域的顶部上形成为中浓度、并具有实际上跨越整个次要外延区域的厚度的平坦的浓度变化曲线;多个传导型态2的体区域,其形成在该次要外延区域的范围之中;以及两个传导型态1的源极区域,其成形在每一体区域的两个边缘内侧而形成为高浓度源极区域。
地址 台湾台北县