发明名称 |
防止击穿的功率半导体装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种用于防止信道区域的击穿的功率半导体,为了这个目的,本发明提出了一种防止击穿的功率半导体装置,其拥有一传导型态1的高浓度漏极区域;一传导型态1的主要外延区域,在该基板区域的顶部上加以形成为低浓度;一传导型态1的次要外延区域,在该主要外延区域的顶部上加以形成为中浓度、并具有实际上跨越厚度的均匀掺杂变化曲线;多个传导型态2的体区域,其形成在该次要外延区域的范围之中;以及两个传导型态1的源极区域,其成形在每一体区域的两个边缘内侧而形成为高浓度源极区域。 |
申请公布号 |
CN100411192C |
申请公布日期 |
2008.08.13 |
申请号 |
CN200510096575.9 |
申请日期 |
2005.08.25 |
申请人 |
敦南科技股份有限公司 |
发明人 |
金钟旼 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01);H01L21/336(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郑小军;郑特强 |
主权项 |
1. 一种防止击穿的功率半导体装置,包括:一反击穿功率半导体器件,包括:一传导型态1的高浓度漏极区域;一传导型态1的主要外延区域,其在该漏极区域的顶部上形成为低浓度;一传导型态1的次要外延区域,其在该主要外延区域的顶部上形成为中浓度、并具有实际上跨越整个次要外延区域的厚度的平坦的浓度变化曲线;多个传导型态2的体区域,其形成在该次要外延区域的范围之中;以及两个传导型态1的源极区域,其成形在每一体区域的两个边缘内侧而形成为高浓度源极区域。 |
地址 |
台湾台北县 |