发明名称 一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘
摘要 一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘,由底座(1)、N个压电陶瓷驱动器(2)、基盘(3)和导线插座(4)组成;其特征在于:底座(1)上表面是球面,N个压电陶瓷驱动器(2)沿径向安装在底座(1)上表面上,基盘(3)是安装在压电陶瓷驱动器(2)上的铝质球面薄板,导线插座(4)安装在底座的下表面;每一个压电陶瓷驱动器(2)通过导线插座(4)与相应的加载在其上的数控电压源相联接,每一个压电陶瓷驱动器(2)都能够通过改变加载在其上的电压产生一定的伸缩变化,使基盘(3)的面型能够相应改变,以方便与被加工的非球面镜的局部面型相吻合,以达到抛光的目的;本发明的变形抛光磨盘体积小、输出非球面面型精度高,具有广阔的应用前景。
申请公布号 CN101239446A 申请公布日期 2008.08.13
申请号 CN200810056584.9 申请日期 2008.01.22
申请人 中国科学院光电技术研究所;烟台大学 发明人 胡自强;凌宁;潘君骅
分类号 B24B13/00(2006.01);B24B41/04(2006.01) 主分类号 B24B13/00(2006.01)
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 代理人 贾玉忠;卢纪
主权项 1、一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘,由底座(1)、N个压电陶瓷驱动器(2)、基盘(3)和导线插座(4)组成;其特征在于:底座(1)上表面是球面,N个压电陶瓷驱动器(2)沿径向安装在底座(1)上表面上,基盘(3)是安装在压电陶瓷驱动器上的球面薄板,导线插座(4)安装在底座的下表面。
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