传输门电路下方具有微笑结构的CMOS图像传感器像素

摘要

本发明提供了一种像素及其制备方法。本发明的像素包括光电二极管和传输晶体管，传输晶体管形成在光电二极管与漂浮节点之间，并选择性地将信号从光电二极管传输至漂浮节点，而且传输晶体管具有形成在其传输门电路与漂浮节点的界面处的鸟嘴结构。本发明的像素还包括用于将漂浮节点复位到参考电压的复位晶体管以及被漂浮节点控制的放大晶体管。

主权项

1. 一种形成有源像素的方法，该方法包括：在半导体基体的有源区形成光电二极管；在所述光电二极管与漂浮节点之间形成传输晶体管，所述的传输晶体管具有形成在其传输门电路与所述漂浮节点的界面处的乌嘴结构，所述的传输晶体管在其传输门电路与所述光电二极管的界面处没有乌嘴结构；以及形成复位晶体管，该复位晶体管可将所述漂浮节点复位到参考电压。