基于自由空间耦合技术的电光开关

摘要

一种用于光传送网技术领域的基于自由空间耦合技术的电光开关，包括：激光器、上层金属膜、中间导波层、下层金属膜和硅片衬底，所述中间导波层材料为电光有机聚合物。硅片衬底位于最底部，其上附着着下层金属膜，下层金属膜上紧贴着导波层，导波层上附着着上层金属膜，上层金属膜、导波层和下层金属膜组成波导结构，激光器输出的激光束经过聚焦后形成聚焦光束入射到上述波导结构中，上层金属膜和下层金属膜之间有一可调电压。本发明降低了对聚合物材料电光系数的要求，且工作电压很低，制作工艺简单的优点，并且有机聚合物材料具有极高的响应速度，这使器件可以具有高达纳秒数量级的开关速度。

主权项

1、一种基于自由空间耦合技术的电光开关，包括：激光器、上层金属膜、中间导波层、下层金属膜和硅片衬底，其特征在于，所述中间导波层的材料为电光有机聚合物，硅片衬底位于最底部，其上附着着下层金属膜，下层金属膜上紧贴着导波层，导波层上附着着上层金属膜，上层金属膜、导波层和下层金属膜组成波导结构，激光器输出的激光束经过聚焦后形成聚焦光束入射到上述波导结构中，上层金属膜和下层金属膜之间有一可调电压。