| 发明名称 | 微波等离子反应器 | ||
| 摘要 | 一种微波等离子反应器(10)包括：反应器腔室；位于反应器腔室内的微波共振腔(14)；用于将微波辐射传导至共振腔的波导管(16)，波导管(16)具有会聚渐缩部；用于在共振腔内从微波辐射形成电磁驻波的装置，微波辐射用于启动等离子并将等离子维持于共振腔内，共振腔具有气体入口与气体出口；及从气体出口延伸的管路装置，用于容纳随着从气体入口向气体出口流动的气体而从共振腔传导的等离子。 | ||
| 申请公布号 | CN101243534A | 申请公布日期 | 2008.08.13 |
| 申请号 | CN200680029458.3 | 申请日期 | 2006.07.27 |
| 申请人 | 爱德华兹有限公司 | 发明人 | M·勒多伊乌;J·R·史密斯;A·J·西利 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01) | 主分类号 | H01J37/32(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 曾祥夌;廖凌玲 |
| 主权项 | 1.一种微波等离子反应器，其包括反应器腔室；位于所述反应器腔室内的微波共振腔；用于将微波辐射传导至所述共振腔的波导管，所述波导管具有会聚渐缩部；用于在所述共振腔内从所述微波辐射形成电磁驻波的装置，所述微波辐射用于在所述共振腔内启动并维持等离子，所述共振腔具有气体入口和气体出口；及从所述气体出口延伸的管路装置，用于容纳随着从所述气体入口向所述气体出口流动的气体而从所述共振腔传导的等离子。 | ||
| 地址 | 英国西萨塞克斯郡 | ||