| 发明名称 | 正型抗蚀剂组合物以及抗蚀图案的形成方法 | ||
| 摘要 | 一种正型抗蚀剂组合物，其中含有通过酸的作用而碱溶性增大的树脂(A)、通过曝光可产生酸的酸发生剂(B)和聚丙二醇(C)，该树脂(A)中含有包含衍生自羟基苯乙烯的第1结构单元(a1)、以及衍生自具有醇性羟基的(甲基)丙烯酸酯的第2结构单元(a2)且重均分子量在2000以上、8500以下而且所述结构单元(a1)的羟基和所述结构单元(a2)的醇性羟基的总计量的10摩尔％以上、25摩尔％以下被酸离解性溶解抑制基所保护的共聚物。 | ||
| 申请公布号 | CN100410810C | 申请公布日期 | 2008.08.13 |
| 申请号 | CN200410049012.X | 申请日期 | 2004.06.11 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 萩原三雄;中绪卓;新田和行 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/039(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1. 一种正型抗蚀剂组合物，其中含有通过酸的作用而碱溶性增大的树脂(A)、通过曝光可产生酸的酸发生剂(B)和聚丙二醇(C)，该树脂(A)中含有包含衍生自羟基苯乙烯的第1结构单元(a1)、以及衍生自具有醇性羟基的(甲基)丙烯酸酯的第2结构单元(a2)且重均分子量在2000以上、8500以下而且所述结构单元(a1)的羟基和所述结构单元(a2)的醇性羟基的总计量的10摩尔％以上、25摩尔％以下被酸离解性溶解抑制基所保护的共聚物，在所述树脂(A)中，用所述酸离解性溶解抑制基保护之前的所述共聚物的所述结构单元(a1)和所述结构单元(a2)的摩尔比为85∶15-70∶30，所述聚丙二醇(C)的含有量相对于(A)成分为0.1-10质量％。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||