| 发明名称 | 具有大行程调节功能的调平调焦机构 | ||
| 摘要 | 一种具有大行程调节功能的调平调焦机构，包含小行程调平调焦机构和设置在该小行程调平调焦机构下部的大行程调节机构，Z向大行程由独立的楔形块机构实现，Z向微量调节由楔形块机构驱动，簧片导向来实现。本发明提供的一种具有大行程调节功能的调平调焦机构，可以实现Z向大行程调节和Z向微量调节，提高了动态性能和调节精度，适应不同的应用场合和不同的硅片厚度规格。 | ||
| 申请公布号 | CN101241307A | 申请公布日期 | 2008.08.13 |
| 申请号 | CN200710172803.5 | 申请日期 | 2007.12.21 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 周清华;李志龙;李生强 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);H01L21/68(2006.01);B25H1/00(2006.01);B23Q1/00(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈蘅 |
| 主权项 | 1.一种具有大行程调节功能的调平调焦机构，其特征在于，包含：小行程调平调焦机构和设置在该小行程调平调焦机构下部的大行程调节机构；所述的小行程调平调焦机构包含：调平调焦底板(7)；中心设置在调平调焦底板(7)上的簧片(2)，该簧片(2)具有若干自由端；上平板(1)；连接所述簧片(2)自由端和上平板(1)的若干小行程楔形机构；连接所述小行程楔形机构的若干小行程驱动机构；所述的大行程调节机构包含：底板(106)；设置在底板(106)上的若干圆弧导轨(113)；设置在所述圆弧导轨(113)上的楔形块驱动板(107)，该驱动板(107)具有若干自由端，该自由端可以沿所述的圆弧导轨(113)滑动；设置在所述楔形驱动板(107)自由端上的若干大行程楔形机构；连接所述楔形驱动板的大行程驱动机构；设置在所述底板(106)上的若干调平调焦底板导向机构。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||