发明名称 光波导器件以及光波导器件的制造方法
摘要 本发明涉及光波导器件以及光波导器件的制造方法。本发明目的在于减少光波导器件中的光损耗。而且减少制造时的成本。在光波导器件(2)的两端部形成有45度的倾斜面(13、14),设有镀金而成的反射镜(15、16)以覆盖住倾斜面(13、14)的芯部(12)露出的部分。此外,在光导部件(2)的上表面实施有沿着光导部件(2)延伸的金布线(17)。使用使反射镜(15、16)与金布线(17)对齐而准备的图形掩模,用真空蒸发法或溅射法等真空成膜法将金镀到光导部件(2)上,同时形成反射镜(15、16)和金布线(17)。
申请公布号 CN101243339A 申请公布日期 2008.08.13
申请号 CN200680029701.1 申请日期 2006.06.21
申请人 三美电机株式会社 发明人 小野位
分类号 G02B6/122(2006.01);G02B6/42(2006.01);G02B6/13(2006.01);H05K1/02(2006.01) 主分类号 G02B6/122(2006.01)
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 张敬强
主权项 1.一种光波导器件,在包层部内具有芯部,并具备向光导方向延伸的光导部件,其特征在于,在所述光导部件上实施有金属布线。
地址 日本东京都