光学发送/接收装置,双向光学发送/接收模块及其制造方法

摘要

本发明提供了一种性能优良的双向光学发送/接收模块等，所述双向光学发送/接收模块包括多路分解装置，该多路分解装置使用字母V形光波导以及多层介质滤光片。在多层介质膜形成处形成端面，以及光学模块的分离以几个单独的步骤完成，且在字母V形光波导的交叉部分处的、多层介质滤光片形成在其上的端面通过干蚀刻形成以实现很高的平滑度。此外，光学模块的切割面设置在与端面距离至少3μm的位置处。这样，平滑的端面被防止出现由光学元件分离步骤引起的切割面的粗糙度，且多层介质滤光片形成在所述端面上。

主权项

1、一种双向光学发送/接收模块，包括：发光元件，用于通过使用单芯光纤利用两种波长的光执行同时双向通信；双向光波导，所述双向光波导形成在基板上并连接到发光元件；和多层介质滤光片，所述多层介质滤光片形成在光波导的折叠结构的端面上，所述多层介质滤光片具有反射来自发光元件的发送光的特性以及透射来自外部的接收光的特性，其中所述光波导的折叠结构端面布置在相对于基板的端面退回到内侧的位置。