发明名称
摘要
申请公布号 JP4131647(B2) 申请公布日期 2008.08.13
申请号 JP20020188283 申请日期 2002.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/328;H01L21/336;H01L21/82;H01L23/58;H01L27/04;H01L29/10 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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