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发明名称
摘要
申请公布号
JP4131647(B2)
申请公布日期
2008.08.13
申请号
JP20020188283
申请日期
2002.06.27
申请人
发明人
分类号
H01L29/78;H01L21/328;H01L21/336;H01L21/82;H01L23/58;H01L27/04;H01L29/10
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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