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发明名称
Method of providing doping concentration based on diffusion, surface oxidation and etch-back steps, and method of producing solar cells
摘要
申请公布号
EP1843389(B1)
申请公布日期
2008.08.13
申请号
EP20060112217
申请日期
2006.04.04
申请人
SOLARWORLD INDUSTRIES DEUTSCHLAND GMBH
发明人
TOELLE, RAINER
分类号
H01L21/223;H01L21/225;H01L27/142;H01L31/04;H01L31/18
主分类号
H01L21/223
代理机构
代理人
主权项
地址
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