发明名称 Method of providing doping concentration based on diffusion, surface oxidation and etch-back steps, and method of producing solar cells
摘要
申请公布号 EP1843389(B1) 申请公布日期 2008.08.13
申请号 EP20060112217 申请日期 2006.04.04
申请人 SOLARWORLD INDUSTRIES DEUTSCHLAND GMBH 发明人 TOELLE, RAINER
分类号 H01L21/223;H01L21/225;H01L27/142;H01L31/04;H01L31/18 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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