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发明名称 PROCESS ABATEMENT REACTOR
摘要
申请公布号 EP1954926(A2) 申请公布日期 2008.08.13
申请号 EP20060836717 申请日期 2006.10.30
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CLARK, DANIEL, O.;RAOUX, SEBASTIEN;VERMEULEN, ROBERT, M.;CRAWFORD, SHAUN, W.
分类号 F01N3/10;B01D53/34 主分类号 F01N3/10
代理机构 代理人
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