Binding of organic molecules to a silicon surface for fabrication of storage elements with organic compounds

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein nichtflüchtiges Speicherelement, in dem organische Moleküle über eine neuartige Endgruppe an Siliziumoberflächen, insbesondere über den Stickstoff einer Nitrilgruppe an eine Siliziumoberfläche oder an eine nitridierte Siliziumoberfläche, gebunden werden. Das organische Molekül stellt eine leitende Verbindung zwischen zwei Kontakten her. Erfindungsgemäß ist dabei einer der beiden Kontakte ein Siliziumsubstrat. Das organische Molekül ist abwechselnd aus Ethinyl- und Arylgruppierungen aufgebaut. An einem Ende dieser Kette befindet sich eine Cyangruppe zur Anbindung des organischen Moleküls an das Substrat. Diese Cyangruppe ist Teil einer Gruppe, ausgewählt aus Benzonitril, Phenylacetonitril, Benzoylacetonitril und Benzoylcyanid.