发明名称 表面处理装置的被处理物搬运装置
摘要
申请公布号 TWM338432 申请公布日期 2008.08.11
申请号 TW096219955 申请日期 2007.11.26
申请人 丸仲工业股份有限公司 日本 发明人 长仓正次
分类号 H01L21/677 (2006.01) 主分类号 H01L21/677 (2006.01)
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种表面处理装置的被处理物搬运装置,其特征在于,设置有:被处理物保持构件、处理槽、第一转换搬运装置、第二转换搬运装置、装架台以及可自由升降的托架用轨道,在上述被处理物保持构件中,将支承在搬运用托架上的托架卡止部设置在上部,将装架卡止部设置在该托架卡止部的下方,将可自由装拆地保持要进行表面处理的印制电路板等的被处理物的保持部设置在下方;上述处理槽依次设置多个前处理槽、多个表面处理槽以及多个下一个处理槽而构成,上述前处理槽可放入被保持在上述被处理物保持构件上的被处理物;上述第一转换搬运装置在对应于前处理槽的上方位置设置有自由升降的第一轨道,同时,具有第一移送机构,该第一移送机构将可自由横向移动地支承在该第一轨道上的被处理物保持构件在该第一轨道的上升位置依次向下一个前处理槽侧移送,可移送到对应于设置在搬入转换位置的前处理槽、即搬入转换前处理槽的上方位置;上述第二转换搬运装置在对应于下一个处理槽的上方位置设置有可自由升降的第二轨道,同时,具有第二移送机构,该第二移送机构将可自由横向移动地支承在该第二轨道上的被处理物保持构件在该第二轨道的上升位置,从对应于设置在搬出转换位置的下一个处理槽,即搬出转换下一个处理槽的上方位置起依次移送到下一个处理槽侧;上述装架台分别设在上述搬入转换前处理槽、多个表面处理槽以及上述搬出转换下一个处理槽上,通过被处理物保持构件的装架卡止部可将被处理物保持构件装架在该处理槽上,可将保持于被装架的被处理物保持构件上的被处理物放入该处理槽内;上述可自由升降的托架用轨道在对应于从上述搬出转换下一个处理槽起经过表面处理槽到达上述搬出转换下一个处理槽的横长范围的处理槽的上方位置,与上述第一轨道的升降移动一起进行升降移动,同时,在该托架用轨道上设置可自由横向移动地被装架的搬运用托架,该搬运用托架具有在托架用轨道的下降位置相对于装架在上述装架台上的被处理物保持构件可自由横向移动的结构,具有可从下方支承上述被处理物保持构件的托架卡止部的支承部,并设置有托架搬运装置,该托架搬运装置由将该搬运用托架设置在第一转换搬运装置侧的搬入用托架和设在第二转换搬运装置侧的搬出用托架构成,上述搬入用托架将以下的各移动行程作为一个循环进行动作,即,在上述托架用轨道的下降位置,从向所选择的表面处理槽的搬入位置开始到上述第一转换搬运装置的横向的搬运终点位置为止的返回移动;在该返回位置,随着上述托架用轨道的上升移动而朝向上升位置移动的上升移动;在上述托架用轨道的上升位置,直到所选择的搬入位置的上方为止的搬运移动;在该搬运位置,随着上述托架用轨道的下降移动而朝向下降位置移动的下降移动,上述搬出用托架将以下的各移动行程作为一个循环进行动作,即,在上述托架用轨道的下降位置,从上述第二转换搬运装置的横向的搬运起点位置开始到向所选择的表面处理槽的搬出位置为止的搬运移动;在该搬运位置,随着上述托架用轨道的上升移动而朝向上升位置移动的上升移动;在上述托架用轨道的上升位置,直到上述第二转换搬运装置的横向的搬运起点位置为止移动的返回移动;在该返回位置,随着上述托架用轨道的下降移动而朝向下降位置移动的下降移动,将上述搬入用托架的返回移动和上述搬出用托架的搬运移动作为一个循环动作中的时间上相同的移动行程,将上述搬入用托架的搬运移动和上述搬出用托架的返回移动作为一个循环动作中的时间上相同的移动行程。图式简单说明:图1是本创作的整体概略正视图。图2是本创作的整体概略放大侧视图。
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