发明名称 NEW METHODOLOGIES TO REDUCE PROCESS SENSITIVITY TO THE CHAMBER CONDITION
摘要
申请公布号 KR100851455(B1) 申请公布日期 2008.08.08
申请号 KR20077030924 申请日期 2007.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3213 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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