| 发明名称 |
Illuminating method, exposing method, and device for therefor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK1078680(A1) |
申请公布日期 |
2008.08.08 |
| 申请号 |
HK20050110399 |
申请日期 |
2005.11.18 |
| 申请人 |
HITACHI VIA MECHANICS LTD |
发明人 |
YOSHITADA OSHIDA;SHIGENOBU MARUYAMA;KAZUO KOBAYASHI;YOSHITATU NAITOU;YOSHIHISA OSAKA |
| 分类号 |
H01L;G02B;G02B3/00;G02B19/00;G03F;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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