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发明名称
Illumination system for an Atomic Force Microscope and control process thereof
摘要
申请公布号
KR100851394(B1)
申请公布日期
2008.08.08
申请号
KR20060136370
申请日期
2006.12.28
申请人
发明人
分类号
G01Q30/04;G01Q30/08;G01Q60/24;G01Q90/00
主分类号
G01Q30/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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