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Die Erfindung betrifft ein Wärmereservoir (1) zur thermischen Kopplung mit einem Substrat (S), umfassend ein Wärmetransportmedium, das einen Austausch von Wärmeenergie zwischen einem mit dem Wärmereservoir (1) thermisch koppelbaren Substrat (S) und dem Wärmereservoir (1) verbessert, wobei das Wärmetransportmedium zwischen dem Wärmereservoir (1) und dem mit dem Wärmereservoir koppelbaren Substrat (S) in statischer Weise vorgesehen ist. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das Wärmetransportmedium eine ionische Flüssigkeit (2) aufweist. Die vorhandene Bandbreite ionischer Flüssigkeiten mit unterschiedlichen physikalischen Parametern erlaubt die Anpassung des Einsatzes als Wärmetransportmedium bei verschiedensten Bearbeitungs- und Herstellungsverfahren, bei denen ein guter Wärmetransport vom oder zum Substrat notwendig ist. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Bearbeitung eines mit einem Wärmereservoir (1) thermisch gekoppelten Substrates (S), umfassend das Bereitstellen eines Wärmereservoirs (1) mit erfindungsgemäßen Merkmalen.
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